台湾产业专家解读半导体产业智能制造:从规则自动化到AI落地

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5月27日至29日,2026第十届集微大会在上海张江科学会堂隆重举行,中国台湾地区资深产业顾问Robert Chien受邀出席大会同期举办的“全球半导体分析师论坛”,并发表以《半导体产业的智能制造》为主题的演讲,系统分享了晶圆厂从人工到智能化制造的演进历程。

Industry Senior Consultant中国台湾地区资深产业顾问Robert Chien

Robert Chien指出,“传统生产高度依赖经验丰富的‘老师傅’,人员流动极易造成生产断层。为此我们探索出规则库自动化模式——将一线实操经验、专业工艺知识梳理转化为系统规则,依托‘如果—那么—否则’的简单逻辑实现流程自动化。随着产业升级,工厂从8英寸晶圆产线升级至12英寸,设备投入大幅增长,专业人力缺口加剧,传统模式已无法适配产业升级需求。当时人工智能技术尚未成熟,规则库自动化成为最优解。“

他以详实数据直观印证了规则库自动化的落地成效,一是从2000年到2010年,10年内12英寸产线晶圆盒自动化搬运占比达98%。晶圆盒价值高昂,堪比豪华轿车,全自动化搬运有效规避了人工操作的重大损耗风险,也是12英寸产线正常运转的基础;二是人均值守机台数量大幅提升,对比8英寸产线,人员整体效率提升2-3倍;三是2010年到2015年,五年内设备综合生产力提升40%~60%。

Robert Chien进一步指出,“规则库存在局限,性能无法持续提升,但企业降本增效的需求从未止步,原有模式走到瓶颈后,我们必须寻求新突破。恰逢人工智能与机器学习技术逐步成熟,我们顺势引入,由此开启新一轮性能升级。需要强调的是,AI与机器学习的落地并非一蹴而就,必须从根本做起。“

人工操作是所有自动化生产的根基。自动化系统一旦出现故障,人员必须具备手动接手生产的能力,才能保障产线不停摆。在8英寸厂阶段,生产作业主要依托人工操作即可完成。但升级至12英寸厂后,生产搬运全面依赖自动化系统,生产过程中需要核查的参数、工况要素繁杂繁多,人工无法逐一校验把控,只能依靠系统完成精细化检查与作业。

“从1987年启动改造到最终实现全自动化,整个过程历时二十余年。完成全自动化布局后,为进一步挖掘产能、压缩成本,我们正式引入人工智能与机器学习,迈入智能制造新阶段。”Robert Chien说道。

他同时提到,技术选择应以实际效益为核心,不必盲目追捧人工智能。只要能为企业创造价值,适配产线需求的技术就是最优选择。同时也要正视人工智能的短板,其应用存在场景限制,且落地、运维均会产生额外成本。随后他以晶圆缺陷智能影像识别、印录机工艺参数智能调优两个案例,作进一步阐释。

传统生产管理围绕“人、机、料、法、环、测”六大维度开展,人工智能普及后,建模成为智能制造不可或缺的全新核心要素。Robert Chien表示,“模型本质是数字化的行业专业知识,模型质量直接决定AI应用效果。打造成熟的人工智能体系,需要三类专业人才协同配合:一是领域专家:深耕生产一线,掌握工艺核心知识,是模型搭建的核心依据;二是数据科学家:负责数据治理,保障数据真实、规范、干净,高质量数据是模型训练的前提;三是信息技术工程师:搭建稳定、安全、算力充足的底层IT架构,为系统运行提供基础保障。”

Robert Chien最后说道,“结合实践来看,落地智能制造主要具备五大核心条件:一是人员能力,需完成系统化培训,打造专业运维与操作团队;二是设备基础,配备性能达标、能力匹配的生产机台;三是数据质量,保证数据规范、精准、干净,契合大数据标准;四是算法体系,拥有完整且成熟的算法作为技术支撑;五是算力支撑,充足的算力是保障海量数据、复杂模型实现高效实时运算的必要前提。”

Robert Chien的演讲视频内容,现已上传至“集微VIP频道-视频栏目”。

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责编: 爱集微
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