10月14日,珠海智桦半导体科技有限公司(以下简称“智桦半导体”)总部基地投产仪式在珠海科技产业集团运营的大湾区智造产业园D区隆重举行。

智桦半导体的成功落户,是珠海市及高新区持续深耕集成电路产业、汇聚创新要素的成果。作为企业战略布局的核心枢纽,珠海基地计划总投资2亿元,建成后预计年产1000台套半导体臭氧设备,达产后年产值可达10亿元,并为当地创造300个优质就业岗位,成为区域经济高质量发展的新支点。
在芯片制造过程中,清洗环节约占全工序的30%,直接决定芯片良率,却长期是国产化短板。智桦半导体作为国内少数掌握臭氧设备全链条核心技术的企业,通过十余年技术攻坚,成功打破国外垄断。其高浓度臭氧气体系统、高纯臭氧水系统等核心产品,臭氧气体浓度最高达420g/m³,臭氧水浓度稳定在140ppm以上,可精准去除晶圆表面纳米级杂质,已应用于台湾地区及东南亚多家先进晶圆厂。此外,企业创新研发的二氧化碳功能水系统,以环保高效特性为行业提供全新解决方案。
据悉,今年6月,珠海科技产业集团通过旗下科创长青基金投资智桦半导体,并推动其入驻大湾区智造产业园,形成“基金+园区+产业”的闭环赋能模式。
智桦半导体创始股东代表谈正兴指出:“珠海优质的营商环境和合作伙伴的全力支持,是企业快速投产的关键。”总经理赵联波则表示,园区基建与产业愿景的高度契合,坚定了企业扎根发展的信心。
当前,半导体产业自主可控成为全球竞争焦点。智桦半导体珠海基地的投产,不仅填补了国内高端清洗设备领域技术空白,更将通过持续创新推动国产装备迈向国际前沿。未来,随着产能释放与技术迭代,智桦半导体有望成为全球半导体供应链中不可或缺的“中国力量”。