4月23日,厦门路维光电高世代高精度掩膜版生产基地迎来首批核心工艺设备正式搬入,该项目正式从“工程建设阶段”转入“工艺设备安装调试阶段”,向着2026年年中试产目标迈出坚实一步。

(来源:路维光电)
路维光电消息显示,作为国内首家、世界第四家掌握G11掩膜版生产制造技术的本土企业,此次在厦门布局的高世代高精度光掩膜版项目,计划总投资20亿元,建设11条高端光掩膜版生产线,其中前期率先建设5条产线,主要生产8.6代及以下高精度掩膜版,应用于a-Si、LTPS、AMOLED、LTPO、Micro-LED等平板显示产品,为京东方、天马、华星光电等核心客户提供更近、更快、更优的本地配套服务。
当前,我国掩膜版产能占比仍低于显示面板产能占比,高端掩膜版国产替代空间巨大。
2025年7月5日,厦门路维光电有限公司高世代高精度光掩膜项目奠基仪式举行;2026年1月,三栋主厂房全面封顶。
掩膜版是微电子制造过程中的“底片”,其精度直接影响终端屏幕的显示质量。据介绍,厦门路维项目的核心生产区域对洁净度要求极为苛刻——核心区必须达到十级甚至更高标准。为此,项目从地基设计到框架施工,均采用比常规建筑更严谨的洁净方案和防微震方案,为高精密光掩膜版生产提供最优质的环境保障。