2026年04月26日，中微公司发布《上海市锦天城律师事务所关于中微半导体设备(上海)股份有限公司调整公司2026年限制性股票激励计划相关事项之法律意见书》。为实施本次调整，公司已履行相关批准和授权程序。2026年3月31日，第三届董事会第十次会议审议通过多项议案；4月7 - 16日，对拟激励对象公示，未收到异议；4月23日，2025年年度股东会审议通过相关议案；4月24日，披露内幕信息知情人自查报告；同日，第三届董事会第十一次会议审议通过调整及授予议案。
鉴于原确定授予的激励对象中有12名因离职或个人原因不再符合资格或放弃，董事会于4月23日会议对激励对象人数、名单及获授数量进行调整。调整后，首次授予激励对象由3061人调为3049人，原拟授份额根据入职年限等因素分配给其他对象，拟授予总量及预留部分数量不变。调整后的激励对象属规定范围，其他内容与原计划一致，且无需提交股东会审议。律师认为，公司调整已取得必要批准授权，符合相关规定。
