【突破】国内首次!九峰山实验室实现8英寸原子层沉积金属钼工艺突破

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1.国内首次!九峰山实验室实现8英寸原子层沉积金属钼工艺突破

2.极端财富时代到来:马斯克几乎锁定全球首位万亿富翁

3.富士康遭入侵后续:超30份苹果服务器文档样本流出

4.美国破产造车新势力Fisker车主“抱团接盘”自救,破解系统、自建供应链等

5.三星 AI 芯片赚翻了却爆罢工! 五大重点一次看懂


1.国内首次!九峰山实验室实现8英寸原子层沉积金属钼工艺突破

金属薄膜的沉积精度直接决定了器件性能的天花板。而金属钼(Mo)薄膜的低电阻、高均匀、易量产工艺一直是行业难题。


近日,九峰山实验室化合物半导体中试平台-工艺平台深度联动国产原子层沉积(ALD)设备厂商,实现了ALD Mo工艺新突破——以稳定、高效的MoCl₂O₂原料为前驱体,在400℃下制备出高性能金属钼薄膜,这是国内首次基于8英寸平台实现该工艺的开发。

作为实验室在化合物半导体根技术领域的重要突破,该工艺在电阻率、均匀性、台阶覆盖率等关键指标上达到量产要求,对化合物半导体器件性能提升具有底层支撑作用,为国产设备与自主工艺的协同创新提供了可行样本。

工艺平台薄膜团队工程师操作ALD机台进行工艺调试与优化

金属Mo:小尺寸芯片的理想选择

随着半导体器件尺寸的不断缩小,传统互连材料如钨(W)、铜(Cu)在纳米尺度下面临电阻率急剧上升、电迁移失效等难题。金属钼(Mo)因优异的电学性能和高温稳定性,成为理想的替代方案。纳米尺度下,Mo的电阻率增长幅度远低于钨(W)和铜(Cu),且可同时应用于互连层与栅极,适配先进制程。

但高性能ALD Mo薄膜的工艺窗口窄、控制难度高,如何在大规模量产中兼顾电阻率、均匀性和台阶覆盖率,一直是半导体行业攻关的重点。

(a)ALD工作原理示意图:以三甲基铝和水制备Al2O3薄膜为例;(b)ALD系统简化示意图

无氟前驱体从源头消除可靠性隐患

九峰山实验室化合物半导体中试平台采取的工艺路径突破的关键在于前驱体及反应物的选择。

传统方案多采用含氟前驱体,氟残留会带来器件可靠性隐患。本工艺方案选用MoCl₂O₂作为前驱体,完全不含氟,从源头避免了这一问题;同时其高蒸汽压特性可实现稳定高通量输送,满足量产需求。

在反应物方面,采用氢气(H₂)等离子体替代传统高温工艺,其高活性特性使之在400℃沉积温度下即可完成高效沉积,避免高温损伤衬底。既保证了薄膜质量,又兼顾了器件兼容性。

此外,本工艺省去了传统流程中制备氮化钼(MoN)种子层的步骤,可直接沉积金属Mo薄膜,减少工序、缩短周期、降低成本。

在工艺开发初期,团队面临前驱体传输不稳定、沉积速率偏低等难题。经过持续的技术攻关与设备-工艺联调,团队逐一克服了一系列技术挑战,最终成功实现了稳定可控的量产工艺。

自研工艺协同国产设备

实现量产自主可控

除自研工艺开发所具备的优势以外,本套工艺的核心亮点在于基于国产设备的协同开发,针对国产ALD设备的反应腔结构、气体传输系统等核心特性,精准优化工艺参数。

这种双向适配带来两方面收益:一方面,发挥国产设备的精准控制优势,实现原子级均匀沉积;另一方面,通过工艺优化反哺设备,提升设备运行性能。该工艺稳定可控,可直接对接产业界量产需求,实现“国产设备赋能工艺、工艺反哺设备”的良性循环。

九峰山实验室ALD Mo国产设备

五项核心指标直指产业要求

经系统测试,九峰山实验室化合物半导体中试平台所开发的ALD Mo薄膜在五个维度上表现突出。

电阻率低:控制在9 μΩ·cm以内,接近Mo体材料本征电阻率,远优于传统工艺(通常>15 μΩ·cm),可降低器件RC延迟(电阻电容延迟)、提升传输速度、减少功耗。

均匀性好:片内均匀性(1sigma)为2%,片间均匀性低至0.334%,确保大面积晶圆上薄膜性能一致,为量产良率提供保障。

台阶覆盖率优良:依托ALD保形性优势,可完美覆盖芯片复杂立体结构,适配3D NAND、高端逻辑芯片等制造场景。

薄膜结构致密、无明显缺陷:可阻挡杂质扩散、提升抗氧化抗腐蚀能力,减少漏电风险,延长器件寿命。

工艺简化:无需制备MoN种子层,直接沉积Mo薄膜,减少工序、缩短周期,降低材料与设备成本。

ALD Mo在高深宽比结构(AR>12:1 )中台阶覆盖性良好

本次工艺的成功开发,标志着国内首次在8英寸平台实现ALD Mo工艺的开发,且在关键指标上达到量产要求。在3D NAND制造中,高台阶覆盖率可完美适配垂直沟道结构,助力提升存储容量与读写速度。在7纳米及以下逻辑芯片中,低电阻率直接带来更低的RC延迟,运算速度提升、功耗降低。在DRAM(动态随机存取存储器)制造中,高均匀性和致密结构有助于提升器件稳定性与寿命。

该工艺的成功突破也验证了一个判断:国产设备与自主工艺的深度协同,完全可以交出高水平的答卷。


2.极端财富时代到来:马斯克几乎锁定全球首位万亿富翁

据彭博社报道,随着SpaceX提交IPO招股书,该公司CEO埃隆·马斯克(Elon Musk)几乎可以肯定将成为全球首位万亿富翁。



根据SpaceX在周三发布的招股说明书,马斯克持有大约51亿股SpaceX股票,以及约3.5亿份行权价为8.39美元的期权。

如果SpaceX的IPO估值达到彭博社此前报道的2万亿美元目标,马斯克的总净资产将飙升至惊人的1.1万亿美元。即使按1.75万亿美元的估值计算,加上他持有的价值2920亿美元的特斯拉股份以及其他多家公司的所有权,他仍能实现这一前所未有的财富里程碑。

现年54岁的马斯克已蝉联全球首富近两年,而他向万亿美元财富的迈进,标志着极端财富新时代的到来,也凸显了科技时代财富惊人集中的现象。他的崛起赢得了那些将他视为富有远见的建设者的人们的称赞,也引发了批评者的警惕。批评者认为,马斯克的财富和政治参与是不平等加剧与影响力缺乏约束的佐证。

彭博亿万富翁指数目前对SpaceX的估值为1.03万亿美元,这一估值基于该公司在2025年12月的一次要约收购中的8000亿美元估值,以及xAI在2026年1月一轮融资中的估值。一个月后,马斯克将这两家公司合并。SpaceX预计将在6月11日进行IPO定价、次日开始交易,其估值届时将得到更新。

彭博社对马斯克所持SpaceX股份的估值,采用的是周三文件中报告的已发行A类股和B类股数量,该数字不包括未归属的股权激励,也不包括将在IPO过程中增发的股份。(凤凰网)


3.富士康遭入侵后续:超30份苹果服务器文档样本流出

5 月 21 日消息,科技媒体 AppleInsider 昨日(5 月 20 日)发布博文,通过分析泄露样本,发现今年 5 月富士康北美设施遭遇的网络攻击事件中,已流出超过 30 份苹果机密文件。

5 月 13 日报道,富士康(Foxconn)确认其位于美国威斯康星州 Mount Pleasant 的工厂本月(2026 年 5 月)遭遇网络攻击。

勒索组织 Nitrogen 声称对此负责,窃走超过 1100 万份文件,总计约 8TB。Nitrogen 称,窃取内容包含诸多机密指令、项目资料和图纸,涉及英特尔、苹果、谷歌、戴尔、英伟达等多个客户。

该媒体分析最新拿到的样本,发现 Nitrogen 窃取的文件中,已包含 30 多份可信度较高的苹果公司机密文档样本。

不过从披露的文档样本来看,现阶段流出的重点不是 iPhone、iPad 或 Mac,主要集中在 2020 年到 2023 年的服务器机架规格、手册,以及 2025 年末到 2026 年 3 月的服务器部件结构图。

文档展示了 Apple 服务器机箱、支架、垫片等部件尺寸,也写到机架承重、允许颜色、散热气流维护、侧板安装和稳定性测试要求。

其中最值得关注的一份文件披露苹果公司 Matterhorn 项目,文档提到,苹果部分高端服务器采用 Intel Whitley 和 Eagle Stream 平台。

按样本描述,相关服务器配备 2 颗 32 核、主频 2.2GHz 的 Intel Ice Lake Xeon 可扩展处理器,搭配 24 条 128GB DDR4 内存、NVIDIA T4 GPU,以及多块 8TB NVMe 硬盘。

除了苹果公司之外,样本显示,被窃文件还涉及 AMD、Broadcom、Google、Intel、HP、Micron、NVIDIA、Samsung、Seagate 等多家厂商,内容大多也是服务器、主板、存储与测试规范。(凤凰网)


4.美国破产造车新势力Fisker车主“抱团接盘”自救,破解系统、自建供应链等



近日,美国一家已进入破产清算程序的造车新势力——Fisker,其车主群体正展开一场大规模自救行动。面对车企倒闭后车辆可能“沦为废铁”的困境,约4000名车主成立非营利组织“Fisker 车主协会”(FOA),通过技术、供应链和法律等多方面努力,试图挽救手中的约1.2万辆Ocean SUV。

资料显示,Fisker成立于2007年,是美国知名造车新势力,曾对标特斯拉,主要生产混动跑车。其首款车型Karma于2011年上市,至2019年7月停产。2014年,Fisker被万向集团以1.49亿美元(约合9.03亿人民币)收购。2020年10月,Fisker登陆纳斯达克,股票代码为FSR。2024年10月11日,Fisker获得法院对其破产清算计划的批准,美国破产法官Thomas Horan在特拉华州威尔明顿举行的法庭听证会上批准了该计划,准许该公司在出售车队后用剩余资产偿还债权人。

与燃油车不同,燃油车在车企倒闭后,其机械结构可以通过第三方汽配城和修理厂测绘零件实现替换。但新能源车一旦车企倒闭,服务器关停,车辆的数字版权、加密协议、云端认证等将成为车辆的“紧箍咒”,车辆难以正常使用。

面对这一绝境,Fisker车主协会聘请技术专家开展逆向工程破解系统,成功破解了车辆的CAN总线通信协议,并在GitHub上创建开源工具,开发出可以替代原厂云端服务的第三方软件。同时,该组织通过全球寻源和集体采购,自建全球供应链,并组建了可支持跨国修车的移动维修网络。

此外,车主协会还积极介入破产法律程序,成功争取到将安全召回纳入清算计划,并说服部分保险公司继续为这些车辆提供保险。


5.三星 AI 芯片赚翻了却爆罢工! 五大重点一次看懂

受惠AI芯片热潮、今年市值突破1万亿美元的三星电子与最大工会的谈判破裂,约4.8万名员工预计周四(21日)起发动为期18天的罢工,要求提高奖金与利润分成。

1、争议焦点:晨星分析师Jing Jie Yu指出,三星拒绝将利润分红正式纳入合约,是谈判僵持的症结。

2、潜在冲击:分析预估,18天罢工可能使三星2026年营业利益减少约5%。 但更大的风险不是停工本身,而是人才流失。 AI芯片工程师可能转向待遇更好的竞争对手。

3、对手比较:SK海力士(SK Hynix)将10%营业利润分给员工,并取消奖金上限。 三星较弱的薪酬制度,恐削弱对AI人才的吸引力。

4、市场仍看好AI芯片需求:KB证券分析师Jeff Kim认为,美国科技巨头持续投入AI数据中心建设,AI内存需求仍远高于供给,三星的AI获利动能未必会因罢工而中断。

5、政治效应:韩国总统府政策室长金容范提出,AI带来的部分获利与税收应“回馈全民”,因相关产业奠基于国家长年投资。 但此一言论引发市场震荡,Kospi指数隔天一度重挫5.1%,三星与SK海力士股价同步下跌。

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