台积电合作取得晶体管关键技术突破

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台积电与中国台湾地区国立阳明交通大学合作,在下一代晶体管设计上取得关键突破。双方证明,在单层二硫化钼(MoS₂)沟道上沉积外延铝,可实现低散射器件。

当今多数芯片依靠 FinFET 或 GaaFET 来传输和管理电流,但随着芯片制造技术的进步,栅极对电子流的控制变得困难。为突破限制,芯片厂商一直在研究二维单层晶体管,但材料过薄带来新问题。

台积电与阳明交大的研究重点是防止漏电、实现电流控制的栅介质层,他们在 MoS₂ 表面沉积铝层,再让其氧化,形成氧化铝,最后叠加高介电常数的氧化铪作为栅介质。通过这种表面工程,新方法能在 MoS₂ 晶体管中实现更紧密的电流控制,并降低电阻。

责编: 张轶群
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