2026年10月23日，上海易启芯程半导体有限公司发布全自动晶圆刻蚀设备采购项目的评标结果公示，本次招标于2026年10月20日完成开标。
本次采购的招标范围为全自动晶圆刻蚀设备，招标机构为上海机电设备招标有限公司，公示期自2026年10月23日起至2026年10月26日结束。经评标，第一中标候选人为上海芯源微企业发展有限公司，该企业同时为本次投标设备的制造商，产地为中国。
上海易启芯程半导体全自动晶圆刻蚀设备采购评标结果公示
来源：爱集微
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