2026年10月29日，深圳大学集成电路学院发布干进干出化学机械抛光机-供液柜项目采购相关信息，公示该项目预成交结果，项目预算金额为90000.00元，拟成交价格为90000.00元。
本次拟成交供应商为川盈半导体科技（苏州）有限公司，采购的设备为干进干出化学机械抛光机-供液柜，采购数量为1台。该设备关键技术指标如下：储液容量10L，搅拌方式为单浆搅拌，搅拌转速范围0-1500rpm，供液口数量为2个。
【预成交】深圳大学集成电路学院干进干出化学机械抛光机-供液柜项目预成交结果公示
来源：爱集微
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