科耐激光完成新一轮融资,由中芯聚源领投

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近日,科耐激光完成新一轮融资,本轮融资由中芯聚源领投,十月资本、海汇资本、江夏科投、尚玉智投、力中投资等机构跟投。

科耐激光业务聚焦于超快紫外和深紫外激光器的研发和生产,产品覆盖355nm、266nm、213nm、193nm波长,可为半导体晶圆缺陷检测,包括颗粒度检测、明暗场检测等,以及掩膜版检测设备提供深紫外光源。

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