天眼查显示，深圳市铨兴科技有限公司近日取得一项名为“一种晶圆翘曲形变测试设备”的专利，授权公告号为CN117889773B，授权公告日为2024年5月14日，申请日为2024年3月15日。
本发明公开了一种晶圆翘曲形变测试设备，涉及晶圆翘曲度测试技术领域，现提出如下方案，包括外箱体和安装在外箱体内部的测量机构，所述测量机构包括接触测量组件和光栅测量组件；所述接触测量组件包括门板、接触测量室、第一电机、安装底座、双向螺杆、外套杆、连接横杆、前后滑块，装置在使用过程中，接触测量板通过顶部的滑轮带动在装置的内部前后平移，第二电机带动主动齿轮在装置的内部进行转动，然后主动齿轮同时驱动两个传动齿轮在装置的内部进行转动，然后传动齿轮带动滑轮在装置的内部转动，以此就能够调节接触测量板在装置内部的位置，就可以对安装底座上方的晶圆通过表面接触的方式计算表面的形变，从而计算晶圆的翘曲度值。
