
近日,浙江大学公布2024年度“十大学术进展”名单,我院卓成教授团队研发的“多模态大模型FabGPT赋能集成电路智能制造”学术成果成功入选。

近年来,集成电路学院持续推进集成电路产教融合与智能制造体系建设,在吴汉明院士的带领下建成了全国唯一的12英寸CMOS成套工艺产教融合公共创新平台(浙江省集成电路创新平台)。依托该平台,卓成教授和孙奇研究员围绕集成电路制造全流程智能化关键技术开展系统化研究,探索人工智能与集成电路制造的深度融合,为复杂工艺流程的智能决策与高效优化提供了新的解决思路。

图 FabGPT:面向集成电路设计制造协同的多模态大模型框架示意图
针对集成电路制造在小数据条件下面临的建模难、工艺理解难和高维优化难等关键挑战,团队研制了面向集成电路设计制造协同的多模态大模型框架FabGPT,在虚实融合建模、多模态工艺理解、超高维智能优化等方向取得了系列成果:实现光刻仿真、掩模优化与规则检测的一体化协同,整体效率提升约85倍;晶圆缺陷检测精度提升至96%;超高维参数优化效率提升3个数量级。
相关成果已发表于ICCAD、DAC、ASPDAC等集成电路领域国际顶级会议,并获得ICCAD最佳论文奖(大陆高校首次获奖)、ASPDAC最佳论文奖及华为“火花奖”等来自学术界与产业界的重要认可。目前,相关技术已在士兰微电子、浙江创芯、华大九天等企业落地应用,并在高校教学与科研场景中得到推广。
我院科研成果FabGPT的成功入选,是学院在“AI+设计制造一体化”方向上的一次重要探索,充分展现了产教融合与学科交叉协同创新的优势,也体现了学院面向国家亟需技术领域需求的使命担当。
未来,学院科研团队将继续依托学校和浙江省集成电路创新平台,推动人工智能与集成电路的深度融合,为我国高端芯片自主创新及制造能力提升持续贡献浙大“芯”力量。
自2013年起,浙江大学学术委员会每年度组织开展“浙江大学年度十大学术进展”评选活动,表彰过去一年中具有创新性和良好社会影响的标志性学术成果。浙江大学2024年度“十大学术进展”评选活动自2025年7月启动以来,在全校师生的共同瞩目之下,共有17个项目进入现场答辩,最终评选出“浙江大学2024年度十大学术进展”10项。