6月1日，芯源微发布公告，公司控股子公司上海芯源微企业发展有限公司于近日收到单笔政府补助款项3522万元，该补助为与收益相关的政府补助。此次补助将计入公司当期损益，有望对2026年度利润产生积极影响。
芯源微是国内半导体专用设备领域的核心企业，由中科院沈阳自动化研究所于2002年发起创立。公司核心产品为光刻工序涂胶显影设备（Track）和单片式湿法设备，是国内目前唯一实现前道涂胶显影设备量产供货的本土厂商，成功打破了日本东京电子（TEL）在该领域长期的技术与市场垄断。其产品已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、长电科技等国内主流晶圆厂与封测厂。
近期，公司经营层面呈现积极信号。2026年第一季度，公司实现营业收入3.31亿元，同比增长20.08%；毛利率大幅提升至46.69%，同比增加12.40个百分点，主要得益于高毛利的化学清洗机等新品收入占比提升。尽管归母净利润同比有所下滑，但扣非净利润亏损同比大幅收窄81.11%。华西证券研报指出，公司化学清洗机、先进封装等新品正处于放量阶段，新签订单同比高速增长。（校对/邓秋贤）
