据韩国媒体报道，ASML已决定将供应韩国市场的设备替换零部件价格统一上调10%，三星电子与SK海力士已接受这一方案。新价格将自2027年1月交付的产品起正式生效。
报道称，ASML于2026年9月初通过韩国子公司向三星电子与SK海力士传达涨价方案，经两家公司采购部门协商后正式确定接受。此次涨价范围广泛，覆盖EUV与DUV光刻系统的所有零件，包括定期采购的消耗性零件，以及因故障或性能衰退而更换的核心组件，如导光镜头、反射镜、光源及精密运动控制系统等。这将直接显著推升晶圆厂维持设备运作的日常维护成本。
ASML过去通常只在原料成本大幅上涨或特定材料取得困难时调整个别零件价格，此次高达10%的全面涨价相当罕见。有分析认为，除组件成本整体上升外，ASML也意在从客户获利中分得更多比例。ASML来自已安装设备的后续服务、备件及升级业务收益庞大。2025年，该领域营收达81.93亿欧元，占总营收326.67亿欧元的25%，且预计2026年该业务营收成长率将超过30%。
除备件外，新订购的ASML设备价格也面临上涨压力，公司正与主要客户洽谈设备调价事宜。美国科技媒体《The Information》7月曾报道，ASML已通知芯片制造商等客户将调涨DUV设备价格10%，中国大陆已有部分客户接受，但其最大客户台积电传出反对态度。
随着三星与SK海力士接受ASML零部件涨价，预计将强化其他半导体设备与零组件供应商的谈判优势。例如，应用材料已在8月财报中宣布新旧产品价格均已调升，Tokyo Electron也在7月说明会表示正针对设备进行价格调整。
这一轮设备与零部件涨价主要源于AI数据中心投资热潮，带动存储晶圆厂与逻辑晶圆代工厂同时展开大规模扩产，导致设备与零部件订单暴增并陷入供不应求。加上通货膨胀与原料成本上涨，供应商谈判权大增，打破了过去由半导体制造商凭借采购力压低价格的常态。整体半导体制造设备未来价格走势，预计将随半导体产业走势推进，后续情况值得观察。
