做国产热电温控先行者中科新源将亮相SEMICON China 2023

作者：张杰 2023-06-15

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来源：爱集微 #中科新源# #semicon#

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SEMICON CHINA 2023

安徽中科新源半导体科技有限公司

展位号：E7463

2023年6月29日-7月1日

上海新国际博览中心

2023年6月29日-7月1日，SEMICON China 2023将在上海新国际博览中心举办。作为大功率热电温控系统产业规模化应用的领先者，安徽中科新源半导体科技有限公司（以下简称“中科新源”）将携半导体直冷机、半导体恒温槽、光模块热电温控系统等产品隆重亮相！

中科新源成立于2017年11月，是一家国家高新技术企业。该公司专注于半导体应用领域的热电温控系统产品的研制，在大功率半导体制冷应用领域，是中国国内第一家进入产业规模化应用的领先者。

中科新源坚持以创新驱动成长，自主研制多款产品，广泛应用在半导体、5G通讯、算力设备、医疗、车载等多个应用领域。同时中科新源也致力于为合作伙伴赋能，注重线上线下的品宣推广，联动各界资源，为行业客户带来行业内领先的热电温控系统产品及最优的解决方案。在即将举行的SEMICON China 2023，中科新源将携多款产品亮相，这里为你抢先“剧透”！

大功率半导体直冷机是中科新源的“代表作”，凭借体积小、控温精准（精度达+/-0.1度）、温度响应速度快、能耗低（平均80%的能耗节省）、无噪声、无污染等诸多优势，已服务于各大主流国内外半导体知名厂商。

本场会议将展出的Z-3000和Z-6000/Z-6000P半导体直冷机，主要适用于半导体晶圆厂的刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）工艺制程。业内周知，半导体蚀刻设备和CVD设备等对工艺温度要求很高，需要设备能精准快速的对温度的变化做出反应，中科新源的设备便能很好地满足这要求，对Etch，CVD和PVD制程设备的反应腔体进行精确控温。

值得一提的是，相较于行业传统的压缩机原理制冷机，中科新源的Z-3000/6000半导体直冷机能耗仅为1/5，可为客户平均每年节约80%电费。通过设备节省的电费、冷媒和其它厂务端费用，平均2至2.5年就可以购买一台全新的直冷机。

中科新源在热电温控领域多维拓展，以实现多层面产品覆盖。本次展会，中科新源除了展出最具代表性的半导体直冷机产品，还为大家带来半导体恒温槽ZMO-500/ZMO-600、光模块热电温控系统C-300以及一体式通信机柜直冷机Pioneer-1500等多类型产品。

其中，半导体恒温槽ZMO-500/ZMO-600主要应用于MOCVD制程设备上，用来对制程过程中MO源进行精确控温，拥有可定制化、控温精准（精度可达±0.1℃）、能耗低、绿色环保、高集成度设计、可靠性高等诸多优势。

光模块热电温控系统C-300主要应用于5G光模块制造产品线，检测在极端温度变化下（0℃-80℃）的光模块性能参数。而一体式通信机柜直冷机Pioneer-1500是一款面向通信领域的新风+压缩机组合式温控系统，该设备拥有全新的环保理念、出色的工作效率、稳定的设备性能、精致的产品设计以及低廉的维护成本，备受客户好评。