广钢气体Super-N系列超高纯制氮装置获客户验证

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5月7日,广钢气体在投资者互动平台表示,公司自主研发的“Super-N”系列超高纯制氮装置,可稳定生产并持续供应ppb级(十亿分之一)超高纯氮气,满足集成电路制造对气体纯度的严苛要求。目前,Super-N 30K、50K型号已在国内多家头部半导体客户现场落地应用。、

广钢气体是国内领先的电子大宗气体综合服务商,于2023年8月登陆科创板,成为“中国电子大宗气体第一股”。公司是国务院国资委“科改示范企业”及广州市国资委重点混合所有制改革项目企业,主营业务为以电子大宗气体为核心的工业气体的研发、生产和销售。

Super-N系列制氮装置由广钢气体完全自主研发,针对电子大宗客户的大规模供气需求设计。该装置可在5000Nm³/h及以上的供气量时,不通过后置纯化系统即可直接产出杂质含量控制在1ppbv以内的氮气,纯度达到国内最高质量标准。与国内其他厂家及国际顶尖厂家的制氮机相比,Super-N系列在纯度、产品规格等参数上领先国内厂家,与国际顶尖厂家持平;在经济性和交付周期方面则优于国际顶尖厂家。装置可靠性指标已追平外资同类产品,平均修复时间≤8小时,平均失效间隔≥4000小时,在线时间≥99.8%。

2025年8月,广钢气体建德智能装备制造基地正式投产,并成功下线首套完全自主研制的Super-N 30K Pro超高纯制氮机大型模块化真空冷箱。该基地的投产标志着我国在超高纯电子大宗气体核心装备领域实现全链路自主可控,从核心材料、控制系统到制造工艺实现100%国产化,彻底打破海外企业长达20年的技术垄断。(校对/邓秋贤)

责编: 秋贤
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